总结德鲁克(Druck)压力传感器在半导体行业中应用

德鲁克(Druck)是世界著名的压力测量和校准仪器仪表制造商，产品包括多种量程及用途的压力传感器和压力测试测量仪器等，广泛应用于油气、航空、汽车、水文、船舶、气象、能源、化工、轨道交通、半导体等领域。中国各海域的深海油气田、复兴号动车组刹车系统、C919等各型号民用飞行器上，德鲁克产品都在其中扮演重要角色。

德鲁克PTX系列深海压力传感器，拥有出色的精度、年稳定性、TRL7级别/SIL认证、防冲击及浪涌性能、冗余特性、压力温度双输出等特性，以及数十年来经全球众多项目验证的、可在4500米深水下长期工作25年的可靠性，在诸多深海油气设备中获得了广泛应用。

本文主要总结德鲁克压力传感器在半导体行业中应用总结。Druck压力传感器于检测半导体工艺气体，如卤代化合物、氧气、臭氧、氦气、氢气、烃类、氮氧化合物等气体的压力变化。